在图 1 中,原始流量值以蓝色绘制在右侧轴上,校正后的体积流量以橙色绘制在左侧轴上。蓝色线性拟合清楚地显示了 CO2 和 N2 的不同热参数如何在没有密度或浓度校正的情况下伪造确定的测量值。然而,通过添加在线密度测量,流量可以被校正到设定的100 sccm的大约2%以内,如橙色的线性拟合所示。结果表明:虹科气体密度传感器DGF-I1和IST流量传感器SFS01的组合,可以准确地测定混合气体的流速,而与混合气体的浓度比无关。
除了已知气体成分的二元气体混合物外,该原理还可以扩展到在不同密度的气体之间切换。使用清洁气体检测系统,可以选择适当的校准数据或校正因子,并实时校正测量值。这样就有可能实现灵活的、性价比更高的流量测量,并具有热测量原理的所有优点:
长期稳定抗振测量
紧凑设计
响应时间特别快(<10 毫秒),适用于过程控制
包括方向检测在内的最低流速的高灵敏度
洁净气体检测
多参数测量系统(流量、密度、压力、温度)
微泄漏监测