虹科技术 | 用于气体密度和粘度传感器应用的压电 MEMS 悬臂梁
摘要 经设计、模拟、制作和测试,基于MEMS悬臂的谐振器用于…
摘要 经设计、模拟、制作和测试,基于MEMS悬臂的谐振器用于…
通过对乙二醇-水混合溶液的浓度测量,展示了如何使用 虹科VLO 液体粘密度传感器在工作进程中控制两种液体的浓度。且测量结果验证了传感器的多参数测量功能和结果的精确性。
对具有相似的密度范围的空气和氮气进行了一系列快速测试,展示 DGF-I1 气体密度传感器在运行时所能实现的工作精度,且测试结果证实了 DGF-I1气体密度传感器的高性能